压力变送器是石化行业自动控制中运用最多的测量安装之一。在大型的化工项目中，简直包含了一切压力变送器的应用：差压、绝压、表压、高压、微差压、高温、低温，以及各种材质及特殊加工的远传法兰式压力变送器。以扬子巴斯夫苯乙烯工程为例，它运用了接近480台各品种型的压力变送器。在工程筹建阶段，该工程筹建部的专家和工程师就但愿能在至少2年时间内全部压力变送器牢靠运转，不呈现毛病。

　　目前，我国石化行业大量运用的压力变送器主要依托入口，国产的压力变送器在产种类类和机能方面和国外还有一定的差距。完成压力传感器的国产化，关于国度的经济和国防平安，中兴民族工业等都具有重要意义。本文经由比照研讨在石化范畴运用的海内外几种典型的压力变送器，剖析了压力传感器国产化的枢纽所在。经由努力，能够突破基于传感器的压力变送器国外的垄断位置，完成石化行业压力传感器的国产化。

　　1 石化行业对压力变送器的需乞降对压力传感器的哀求

　　在现代化连续消费的过程中，不乱牢靠的压力变送器是消费工艺过程的有力保证。一旦呈现计量错误，以至发生发火停机毛病，随之而来的经济损失将是无法计数的。压力变送器的不乱性和牢靠性成为石化行业对压力变送器的首要需求。

　　通常，压力变送器的测量会跟着工作环境和静压的变化而发生发火漂移。在一些微小的压力或者差压测量场所，这个漂移很可能是相比严峻的。在不同的工作前提下，得到相对最准确的测量，从而维护消费的不乱和保证工艺的不合，是压力变送器不乱性的表现，也是石化行业对压力变送器不乱性的哀求。

　　在不乱性和牢靠性根底上，高精度是石化行业对压力传感器的更高需求。控制的精确度取决于控制过程中测量的精度。测量精度越高，控制精确度也就越高。目前，多数压力变送器的精度到达0．075％ ，能够知足石化行业测量精度哀求。

　　此外，石化行业对压力变送器还有很多其他需求。例如：增加量程比可以增加压力变送器运用的敏捷性，给设计和应用带来便当。当工艺流程中某些反响前提的设计发生发火变化时，如，果变送器具有较大的量程比，意味着具有很好的通用性，工艺前提的变化根本不影响变送器的型号，大大减少了设计修正的工作量。同时，大量程比能够减少工程中所用变送器的品种，减少备品备件库存量，也减少了资金的积存。

　　石化行业对压力变送器的需求主要集中在牢靠性、不乱性和高精度3个方面。其中，牢靠性和很多附加需求，如，量程比、总线类型等，依靠变送器的构造设计、机械加工工艺程度和构造资料。压力变送器的不乱性和高精度则主要由压力传感器的不乱性和测量精度保证。与压力变送器的测量精度相对应的是压力传感器的测量精度和响应速度，与压力变送器的不乱性相对应的是压力传感器的温度特性和静压特性以及长期不乱性。石化行业对压力传感器的需求就表现在测量精度、快速响应、温度特性和静压特性、长期不乱性4个方面。

　　微压力传感器是采用半导体资料和MEMS工艺制造的新型压力传感器。与传统压力传感器比拟，微压力传感器具有精度高、灵活度高、动态特性好、体积小、耐侵蚀、成本低等长处。纯单晶硅的资料倦怠小，采用这种资料制造的微压力传感器的长期不乱性好。同时，微压力传感器易于与微温度传感器集成，增加温度补偿精度，大幅提高传感器的温度特性和测量精度。如果将2个微压力传感器集成，又能够完成静压补偿，从而提高压力传感器的静压特性。由此可见，微压力传感器具有很多传统压力传感器不具备的长处，可以很好地知足石化行业对压力传感器的需求。

　　2 当前石化范畴正在运用的传感器及其构造剖析

　　压力变送器

　　硅微电容传感器采用了对称的差分电容构，上下敏感电容的电极经由传感器上的导孔中涂敷导电层引出。当硅油充溢导孔时，作用在浮动模盒上的外部压力由硅油传导到传感器两端，挤压硅片发生发火形变，从而改动电容极板间距，招致电容的改动。硅油的另一个作用是充任电容极板间的电介质，图2为微电容传感器构造图。

　　传感器的主体是由单晶硅构成，侧面是铝电极，用于与引线衔接向外界传送电容信号。传感器的其他导电局部的组要成分都是金。差分电容的3个极板之间由陶瓷资料绝缘。

　　在传感器静电容量检测电路中，富士公司采用了混有数字／模仿电路的ASIC，不只完成了高速检测，而且，降低电路中电磁干扰带来的检测误差，同时提高了检测精度、长期不乱性和牢靠性。为FCX-AⅡ系列变送器构造图。

　　FCX-AⅡ系列变送器的另一个首创技术是基于双温度传感器的温度补偿。经由内置在传感器单元中的温度传感器和内置在电子安装中的温度传感器，分别对传感器局部和电路局部休止温度补偿，提高变送器的温度特性。